Halbleiter
Gemeinsame Bewegungsplattformen für hohen Durchsatz, Präzision, Sicherheit und zukünftiges Wachstum.
Die erfolgreichsten Hersteller von Halbleitergeräten haben festgestellt, dass eine Partnerschaft mit Danaher Motion einen direkten Einfluss auf den Erfolg ihrer Maschinen auf dem Markt haben kann. Somit konnten diese OEMs ihre Entwicklungszeiten verkürzen, die Effizienz ihrer Mitarbeiter erhöhen, Systeme mit höherer Leistung herstellen und einen höheren Wafer‐Ausstoß erzielen.
Produkte für Halbleiteranwendungen
SynqNet®‐Steuerungen
Vollständig digitale Bewegungsnetzwerksysteme erfüllen alle Anforderungen im Hinblick auf Leistung, Diagnosefähigkeiten, Sicherheit und kürzere Markteinführungszeiten. Mehr >
Dover‐Tische
Der weltweit führende Hersteller und Konstrukteur von luftgelagerten Präzisionssystemen, Tischen und Linearaktuatoren. Mehr >
Bürstenlose Servoantriebe S200 und AKM‐Servomotoren
Für Hochleistungsservos in Niederstromanwendungen. Mehr >
Direktantriebsmotoren
DDR‐Motoren sind mit vorkonfigurierten Steuerungen, Antrieben und Rückführeinheiten erhältlich, die eine vollständige Lösung aus einer Hand für Ihre Anwendung bieten. Mehr >
Thomson‐Aktuatoren
Mechanische und elektromechanische Produkte, die Flexibilität, Präzision, Effizienz und Zuverlässigkeit bieten. Mehr >
Fallstudie: Asyst® Technologies
Ziel des Projekts Asyst Spartan™ EFEM (Equipment Front End Module = Geräte‐Frontendmodul) war die Entwicklung des bislang zuverlässigsten und flexibelsten Werkzeugs seiner Art, das in seiner Doppelfunktion auch als Mehrzweck‐Wafersortiermaschine dienen sollte.
Hauptanforderungen des Kunden:
Die Ingenieure von Asyst setzten mit der Entwicklung des Spartan EFEM neue Maßstäbe auf dem Markt. Hoch kompakte Maschinengröße – Das Ergebnis ist ein EFEM, das nur halb so groß ist wie andere Werkzeuge dieser Art. Entwicklung eines kundenspezifischen Antriebs für ein neues internes Roboterdesign – ein auf hohen Durchsatz ausgelegter, kartesischer Roboter mit dualem Endeffektor, ausgestattet mit Edge‐Grip‐Alignern. Das Design des Spartan EFEM Systems musste den Anforderungen gemäß ISO Klasse 1 und besser in Bezug auf Mikroumgebungen genügen – ein entscheidender Aspekt bei der Produktauswahl.
Dezentrale Maschinendiagnose/fortschrittliche Optimierungswerkzeuge
Ausgereifte Tools zur Trajektorienplanung/Bewegungsprogrammierung
Die Bewegungssoftware/‐steuerung muss TCP/IP‐fähig sein, um einen dezentralen Betrieb von außerhalb des Reinraums zu ermöglichen.
Digitales Netzwerk für reduzierten Verkabelungsaufwand / Flexibilität im Design
Lösungspaket
XMP‐SynqNet‐Steuerungen basierend auf MPI (C/C++ Bibliotheken)
BodeTool / MotionConsole
Motion Scope MPX ActiveX‐Programmierung für Produktionstests
Kundenspezifische Servotronix SynqNet‐Antriebe von Kollmorgen
Asyst ist ein eingetragenes Warenzeichen von Asyst Technologies, Inc. Spartan ist ein Warenzeichen von Asyst Technologies, Inc. Alle Rechte vorbehalten.
Softwarefunktionen
The Danaher Motion software feature set continuously grows for SynqNet control technology. The advanced feature set includes:
Path Motion. To move an axis along a path in ndimensionalspace, XMP & ZMP SynqNet controllers support a variety of path motion algorithms including PVT, PT, spline, frame moves, and custom. Specific splines supported include Bezel and B-spline. You choose the algorithm that provides the optimal path type, level of control, and overall requirements for the application.
Collision avoidance. To protect against collisions between axes that share the same workspace, SynqNet controllers can continuously monitor the relative distance between the axes. If the distance falls below the defined distance tolerance, the controller generates an error event to stop the axes. Implemented in hardware,. this feature avoids the delays associated with host-based monitoring.
On-the-fly trajectory modification. You can change motion trajectory at any time and as often as needed by updating acceleration, velocity, and/or position. The motion controller’s on-board motion processor automatically recalculates the trajectory in real time.
2D compensation tables. The mechanical tolerances in the assembly of an air-bearing stage’s surface can create small errors between the measured and true position of the stage plate. To compensate for these errors, the MPI supports 2D compensations tables that yield higher accuracy in submicron positioning systems.
Gantry algorithms. Danaher Motion has implemented precise gantry drive algorithms to compensate for cross-axis coupling in systems where two motors control a single linear (Y) axis. For systems that also incorporate a transverse (X) axis, yaw control is supported as well. Gantry functions adjust the drive demands, reducing the rotational skew positioning error to 1-3 nanometers.
Gain scheduling. For optimal, high-speed motion with fast, accurate settling, you can program the controller to change gain according to position. This done by creating a table that specifies a gain for each segment of a move (acceleration, slew, and deceleration) instead of a single gain for the entire move.
Divide-by-n. To trigger an external device based on an axis’ actual position—for example to drive a camera shutter or pulsed laser—SynqNet controllers are available with a divide-by-n rate generator. With divide-by-n, the controller generates a pulsed after the “nth” (user-specified) encoder transition. Divide-by-n is entirely implemented in hardware.
