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半导体

半导体行业的产品应用

SynqNet® 控制系统

全数字运动控制网络解决方案可满足就性能、诊断能力、安全以及上市时间方面日益增长的苛刻要求。 了解更多 >

Dover平台

全球领先的精密空气轴承系统，平台和直线执行器制造商和设计商。 了解更多 >

S200无刷伺服驱动器系统和 AKM伺服电机

用于低端应用的高性能伺服系统。 了解更多 >

直接驱动电机

源自Danaher Motion的DDR电机配有预组态的控制器、驱动器和反馈装置，能够提供“一站式”解决方案。 了解更多 >

Thomson执行器

机械和机电产品，具有较高的灵活性、精度、效率和可靠性。 了解更多 >

案例研究： Asyst 技术

Asyst Spartan™ EFEM(设备前端模块)项目的目标是生产同类中最强劲、灵活的工具，包括通用晶片分类的双重功能。

 

主要客户要求

Asyst公司的工程师们开发的 Spartan EFEM设立了市场的新标准。
- 极为紧凑的机器规格，EFEM仅为其它同类工具体积的一半。
- 为全新的内部机器人设计定制驱动开发——高效双末端执行器直角坐标机械手，带对准器。
- Asyst Spartan EFEM 符合ISO Class 1，更佳的微环境选项——利于产品选型
- 远程机器诊断和先进的调试工具
- 先进的轨迹规划和运动编程工具
- 运动软件和控制器必须具有TCP/IP功能，适于无尘室外的远程操作
- 数字化网络，减少布线，设计灵活

 

解决方案套件

- XMP-SynqNet控制器，采用MPI(C/C++ 库)
- BodeTool/MotionConsole - Motion Scope
- MPX ActiveX编程，用于生产测试
- 定制Kollmorgen Servotronix SynqNet驱动器

Asyst是Asyst Technologies公司的注册商标。保留所有权利。

软件能力

Danaher Motion软件功能集持续跟踪SynqNet控制技术的成长。 先进的功能套件包括：

路径运动 为沿n维空间中的路径移动轴，XMP和ZMP SynqNet控制器支持各种路径运动算法，包括PVT、PT、样条曲线、框架运动和定制。 所支持的样条曲线包括Bezel样条曲线和B样条曲线。 你可以选择算法，以提供最佳的路径类型、控制等级以及整体应用要求。

避免碰撞 为防止轴之间的碰撞，SynqNet控制器可连续监控轴之间的相对距离。 如果距离低于规定的距离误差，控制器会生成一个错误事件，来停止轴的运动。 采用硬件实施，可避免基于主机监控所造成的延时。

快速轨迹修改 通过更新加速度、速度和/或位置，你可以随时根据需要进行运动轨迹修改。 运动控制器的内置运动处理器能够自动实时重新计算轨迹。 

 维补偿表 空气轴承平台表面的机械公差可在平台板测量位置和实际位置之间生成一个小的误差。 为补偿这些误差，MPI支持二维补偿表，以实现精密定位系统中的较高精度。

龙门架算法 Danaher Motion已实施了精密的龙门架驱动算法，以补偿系统中的纵轴联结，其中由两个电机控制一个直线(Y)轴。 对于包含横(X)轴的系统，还支持偏航控制。 龙门架功能可调整驱动需求，降低回转偏斜定位误差1到3纳米。

增益排程 对于采用快速、精确的定位实现的优化的高速运动，可以根据位置，对控制器进行编程，来更改增益。 这可通过创建一个规定每个运动段(加速度，偏斜，减速度)的增益表来实现，代替整个运动一个增益的做法。

被n除 为根据轴的实际位置触发一个外部设备，例如驱动照相机快门或脉冲激光器，SynqNet控制器可配装一个被n除发生器。 通过被n除，控制器在第n次(用户定义)编码器变换后生成一个脉冲。 被n除功能完全用硬件实现。